金融界2025年6月24日消息，國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，應(yīng)用材料公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“機(jī)隊(duì)阻抗調(diào)節(jié)性能優(yōu)化”的專利，公開號(hào)CN120202524A，申請(qǐng)日期為2023年10月。

專利摘要顯示，本文公開的實(shí)施方式包括現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整多個(gè)RF阻抗匹配的校準(zhǔn)因子以控制多個(gè)等離子體腔室的方法。在實(shí)施方式中，所述方法包含自多個(gè)RF阻抗匹配的操作收集數(shù)據(jù)并將其存儲(chǔ)于內(nèi)存中，以及針對(duì)多個(gè)RF阻抗匹配中的每一者自所收集的數(shù)據(jù)尋找調(diào)節(jié)空間。在實(shí)施方式中，所述方法進(jìn)一步包含尋找考慮到多個(gè)RF阻抗匹配中的每一者的可變性的調(diào)整，考慮到時(shí)變及工藝相關(guān)負(fù)載阻抗而尋找對(duì)多個(gè)RF阻抗匹配的可變調(diào)節(jié)元件的調(diào)整，并且所述方法進(jìn)一步包含針對(duì)多個(gè)RF阻抗匹配中的可變調(diào)節(jié)元件獲得操作窗口。

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