金融界2025年3月26日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司申請一項名為“用于掃描硅片的掃描電子顯微鏡的故障診斷方法和裝置”的專利，公開號CN 119672712 A，申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種用于掃描硅片的掃描電子顯微鏡的故障診斷方法和裝置，涉及半導體技術(shù)領(lǐng)域，所述用于掃描硅片的掃描電子顯微鏡的故障診斷方法包括：獲取在線SEM進行硅片檢測時的實時運行相關(guān)數(shù)據(jù)，將實時運行相關(guān)數(shù)據(jù)輸入訓練好的故障診斷模型，故障診斷模型是利用在線SEM對的歷史運行相關(guān)數(shù)據(jù)、歷史運行相關(guān)數(shù)據(jù)的歷史故障特征信息和歷史故障特征信息對應的歷史修復策略進行訓練得到的，獲取故障診斷模型輸出的在線SEM的實時故障特征信息以及針對實時故障特征信息的實時修復策略，利用實時修復策略對在線SEM進行在線修復，得到修復后的在線SEM。本發(fā)明能夠減少在線SEM設備的故障診斷和排除的耗費時長，提高硅片的檢測效率。

天眼查資料顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本350000萬人民幣，實繳資本350000萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，西安奕斯偉材料科技股份有限公司共對外投資了5家企業(yè)，參與招投標項目3次，專利信息1225條，此外企業(yè)還擁有行政許可24個。